瑞士VAT閥VAT角閥、內(nèi)聯(lián)式或圓柱式真空閥 角閥、內(nèi)聯(lián)式或圓柱式真空閥 用于泵送系統(tǒng)、工藝或排氣應(yīng)用的通用真空閥。是在苛刻的安裝環(huán)境下進(jìn)行真空隔離或控制的理想選擇。帶有增值稅波紋管，適用于UHV。

瑞士VAT閥VAT 21.4 迷你角閥/內(nèi)聯(lián)閥 21.4 迷你角閥/內(nèi)聯(lián)閥 在無壓縮空氣的情況下為密封或排氣提供出色可靠性

瑞士VAT閥24.2 帶密封保護(hù)系統(tǒng)的角閥 24.2 帶密封保護(hù)系統(tǒng)的角閥 為遠(yuǎn)程等離子清潔應(yīng)用樹立耐用性新標(biāo)準(zhǔn)

瑞士VAT真空擺閥 特殊類別的隔離控制閥，其中的真空門通過旋轉(zhuǎn)運動移出開口截面。通過非常精細(xì)的傳導(dǎo)控制，是工藝室中下游壓力控制的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。特點是。設(shè)計緊湊，振動小，開啟和關(guān)閉平穩(wěn)，避免了過程中的顆粒。

瑞士VAT閥3位置真空閥 功能介于隔離閥和控制閥之間。除了打開和關(guān)閉的位置外，這些閥門還有第三個確定的可調(diào)整的閥門位置。這個閘門位置通常被設(shè)計成 “光學(xué)關(guān)閉“，也可以實現(xiàn) “待機(jī) “功能，或在減少傳導(dǎo)的情況下實現(xiàn)更平滑的開啟，例如，避免壓力峰值。

瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥 67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計，可用作下游控制和隔離閥。